HRTEM Study of AlN Formed by Nitrogen Implantation in Al Films

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  • Additional Information
    • Publication Information:
      EDP Sciences, 2003.
    • Publication Date:
      2003
    • Abstract:
      On a analyse par microscopie electronique a haute resolution des films d'aluminium de 70 nm d'epaisseur deposes sur des grilles en cuivre et implantes a 20 keV avec des doses egales a 1 x 10 17 , 2 x 10 17 et 3 x 10 17 N + /cm 2 . A faible dose, la phase cubique est preponderante et se presente sous forme de grains de taille importante et de morphologie mal definie. Au voisinage de ces grains, de petits cristallites (embryons) de AlN de structure hcp sont precipites. Lorsqu'on augmente la dose jusqu'a 3 x 10 17 N + /cm 2 , les petits cristallites de AlN hcp croissent pour devenir des cristallites facettes ayant une taille de 15 a 30 nm et des orientations preferentielles [0001], [1102] et [1100]. En meme temps, la structure cubique de certains grains de morphologie mal definie se transforme en structure hcp. Par ailleurs, l'etude EDS effectuee sur les sections planes et transversales, a permis de localiser l'azote et de quantifier les rapports de concentration N/Al.
    • ISSN:
      1154-2799
    • Online Access:
      https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::741d95110ec766eec622143993b6d356
      http://mmm.edpsciences.org/10.1051/mmm:1996115/pdf
    • Rights:
      OPEN
    • Accession Number:
      edsair.doi...........741d95110ec766eec622143993b6d356